ГОСТ Р 52250-2004
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Введён в действие:
Источник: files.stroyinf.ru
Ссылка ведёт на документ, размещённый на стороннем ресурсе. Администрация сайта не несёт ответственности за содержание, актуальность и доступность документа на внешнем ресурсе. Переход и скачивание осуществляются на ваше усмотрение и риск.
Область применения и описание
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Основные сведения
- Наименование на английском языке
- Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
- Дата издания
- 01.01.2005
Классификация ОКС
- 29.045 Полупроводниковые материалы