ГОСТ 26239.7-84
Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
Введён в действие:
Источник: files.stroyinf.ru
Ссылка ведёт на документ, размещённый на стороннем ресурсе. Администрация сайта не несёт ответственности за содержание, актуальность и доступность документа на внешнем ресурсе. Переход и скачивание осуществляются на ваше усмотрение и риск.
Область применения и описание
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами
Основные сведения
- Наименование на английском языке
- Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination
- Дата издания
- 01.01.1986
Классификация ОКС
- 29.045 Полупроводниковые материалы