ГОСТ 26239.4-84
Дихлорсилан. Методы определения примесей
Введён в действие:
Источник: files.stroyinf.ru
Ссылка ведёт на документ, размещённый на стороннем ресурсе. Администрация сайта не несёт ответственности за содержание, актуальность и доступность документа на внешнем ресурсе. Переход и скачивание осуществляются на ваше усмотрение и риск.
Область применения и описание
Настоящий стандарт устанавливает два метода определения примесей в дихлорсилане: химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров дугой постоянного тока и химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров разрядом с горячим полым катодом
Основные сведения
- Наименование на английском языке
- Dichlorsilane. Methods of inpurities determination
- Дата издания
- 01.01.1986
Классификация ОКС
- 29.045 Полупроводниковые материалы