ГОСТ 26239.1-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Введён в действие:
Источник: files.stroyinf.ru
Ссылка ведёт на документ, размещённый на стороннем ресурсе. Администрация сайта не несёт ответственности за содержание, актуальность и доступность документа на внешнем ресурсе. Переход и скачивание осуществляются на ваше усмотрение и риск.
Область применения и описание
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане
Основные сведения
- Наименование на английском языке
- Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination
- Дата издания
- 01.01.1986
Классификация ОКС
- 29.045 Полупроводниковые материалы