ГОСТ 25196-82

Описание стандарта

Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники

Основные характеристики

Полное наименование

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Наименование (EN)

Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements

Дата издания

01.07.1983

Дата введения

04.05.1982

Статус

Действует