ГОСТ 19658-81
Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
Введён в действие:
Источник: files.stroyinf.ru
Ссылка ведёт на документ, размещённый на стороннем ресурсе. Администрация сайта не несёт ответственности за содержание, актуальность и доступность документа на внешнем ресурсе. Переход и скачивание осуществляются на ваше усмотрение и риск.
Область применения и описание
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник
Основные сведения
- Наименование на английском языке
- Monocrystalline silicon in ingots. Specifications
- Дата издания
- 01.01.1983
Классификация ОКС
- 29.045 Полупроводниковые материалы