ГОСТ Р 8.643-2008

Описание стандарта

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 - 30 нм, и устанавливает методику их поверки

Основные характеристики

Полное наименование

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки

Наименование (EN)

State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 - 30 nm. Verification procedure

Дата издания

01.02.2009

Дата введения

18.07.2008

Статус

Действует