ГОСТ Р 71656-2024
Изделия электронной техники. Электрохимический метод определения толщины слоев многослойных тонкопленочных структур
Введён в действие:
Источник: files.stroyinf.ru
Ссылка ведёт на документ, размещённый на стороннем ресурсе. Администрация сайта не несёт ответственности за содержание, актуальность и доступность документа на внешнем ресурсе. Переход и скачивание осуществляются на ваше усмотрение и риск.
Область применения и описание
Настоящий стандарт распространяется на изделия электронной техники (далее – изделия) и устанавливает электрохимический метод определения толщины слоев многослойных тонкопленочных структур, состоящих из следующих веществ: Mo – MoNi – Ni; V – VSi2; Mo – MoSi2; V – VAl3 – V5Al8 – Al; Ni – TiNi – (TiNi + Ti2Ni) – Ti; Al – Al3Ni – Al3Ni2 – Ni; Ag – Cr; Sn – Sn5Cu6 – SnCu3; OBu – Sn5Cu6 – SnCu6 – SnCu3; пос – Sn5Cu6 – SnCu3. Настоящий стандарт следует применять при контроле технологических процессов изготовления изделий электронной техники и анализе отказов
Основные сведения
- Наименование на английском языке
- Electronic equipment products. Electrochemical method for determining the thickness of layers of multilayer thin-film structures
- Дата издания
- 01.03.2025
Классификация ОКС
- 31.020 Электронные компоненты в целом