ГОСТ Р 71024-2023
Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения
Введён в действие:
Источник: files.stroyinf.ru
Ссылка ведёт на документ, размещённый на стороннем ресурсе. Администрация сайта не несёт ответственности за содержание, актуальность и доступность документа на внешнем ресурсе. Переход и скачивание осуществляются на ваше усмотрение и риск.
Область применения и описание
Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов. Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и контроля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ
Основные сведения
- Наименование на английском языке
- Masked plates for photomasks. Terms and definitions
- Дата издания
- 01.03.2024
Классификация ОКС
- 01.040.31 Электроника (Словари)
- 31.200 Интегральные схемы. Микроэлектроника