ГОСТ Р 71024-2023

Описание стандарта

Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов. Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и контроля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ

Основные характеристики

Полное наименование

Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения

Наименование (EN)

Masked plates for photomasks. Terms and definitions

Дата издания

01.03.2024

Дата введения

07.11.2023

Статус

Действует