ГОСТ 25662-83
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
Введён в действие:
Источник: files.stroyinf.ru
Ссылка ведёт на документ, размещённый на стороннем ресурсе. Администрация сайта не несёт ответственности за содержание, актуальность и доступность документа на внешнем ресурсе. Переход и скачивание осуществляются на ваше усмотрение и риск.
Область применения и описание
Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций
Основные сведения
- Наименование на английском языке
- Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods
- Дата издания
- 01.01.1984
Классификация ОКС
- 23.160 Вакуумная технология